УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПЛАЗМОТРОНА ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

Просмотров аннотации: 37
Загрузок PDF: 18
pdf (rus)
Опубликован: фев 26, 2016
Ключевые слова:
плазмотрон, нанесение покрытий, усовершенствование, качество, стабильность plasma generator, drawing of coverings, development, quality, stability

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

А. Л. ГОЛОЗУБОВ
Мозырский государственный педагогический университет имени И. П. Шамякина

Аннотация

Рассматриваются технологические и конструктивные особенности дугового плазмотрона для нанесения тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы при атмосферном давлении. Проведенный комплекс экспериментальных и конструкторских работ позволил оптимизировать технологию нанесения тонкопленочных покрытий, улучшить качество наносимого покрытия и повысить стабильность процесса за счет использования новых решений, исключающих или значительно ослабляющих проявление негативных процессов внутри плазмотрона.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
ГОЛОЗУБОВ, А. Л. (2016). УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПЛАЗМОТРОНА ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, (3), 56-60. извлечено от https://journals.psu.by/industry/article/view/4262
Выпуск
№ 3 (2016)
Раздел
Машиноведение и машиностроение
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Биография автора

А. Л. ГОЛОЗУБОВ, Мозырский государственный педагогический университет имени И. П. Шамякина

канд. техн. наук, доц.

Библиографические ссылки

Голозубов, А.Л. Теоретические и технологические аспекты осаждения защитных тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий из дуговой низкотемпературной плазмы при атмосферном давлении / А.Л. Голозубов. – Мозырь: Белый ветер, 2012. – 218 с.

Плазмотрон для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 2306 Респ. Беларусь, С1 BY, МКИ6 Н 05Н 1/26 / А.Л. Голозубов, Э.М. Пархимович, О.В. Иванина, А.Р. Андреев. – № 950023; заявл. 10.01.1995; опубл. 16.03.1998 // Афіцыйны бюл. / Дзярж. пат. ведамства Рэсп. Беларусь. – 1998. – № 3. – С. 222.

Конструкция анода плазмотрона для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 7362 Респ. Беларусь, МПК Н05Н 1/26 (2006.01) / А.Л. Голозубов, А.М. Старовойтов, А.А. Голозубова; заявитель УО «МГПУ им. И.П. Шамякина». – № u 20100984; опубл. 2011.06.30 // Официальный бюл. / Нац. центр интеллектуал. собственности. – 2011. – № 3.

Анод плазмотрона для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 8893 Респ. Беларусь, МПК Н05Н 1/26 (2006.01) / А.Л. Голозубов, А.А. Голозубова; Д.А. Ворончук; Ю.Н. Купрацевич; заявитель УО «МГПУ им. И.П. Шамякина». – № u 20120452; опубл. 2012.12.30 // Официальный бюл. / Нац. центр интеллектуал. собственности. – 2012. – № 6.