PERFECTION OF DESIGN PLASMAGENERATOR FOR PLASMA CHEMICAL DRAWING OF THIN-FILM COVERINGS
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
Are considered technological and design features arc plasma generator for drawing of thin-film siliceous coverings by sedimentation from arc plasma at atmospheric pressure. The spent complex of experimental and design works has allowed to optimise technology of drawing of thin-film coverings, to improve quality of a put covering and to raise stability of process at the expense of use of the new decisions excluding or negative processes considerably weakening display inside plasma generator.
Article Details
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
References
Голозубов, А.Л. Теоретические и технологические аспекты осаждения защитных тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий из дуговой низкотемпературной плазмы при атмосферном давлении / А.Л. Голозубов. – Мозырь: Белый ветер, 2012. – 218 с.
Плазмотрон для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 2306 Респ. Беларусь, С1 BY, МКИ6 Н 05Н 1/26 / А.Л. Голозубов, Э.М. Пархимович, О.В. Иванина, А.Р. Андреев. – № 950023; заявл. 10.01.1995; опубл. 16.03.1998 // Афіцыйны бюл. / Дзярж. пат. ведамства Рэсп. Беларусь. – 1998. – № 3. – С. 222.
Конструкция анода плазмотрона для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 7362 Респ. Беларусь, МПК Н05Н 1/26 (2006.01) / А.Л. Голозубов, А.М. Старовойтов, А.А. Голозубова; заявитель УО «МГПУ им. И.П. Шамякина». – № u 20100984; опубл. 2011.06.30 // Официальный бюл. / Нац. центр интеллектуал. собственности. – 2011. – № 3.
Анод плазмотрона для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 8893 Респ. Беларусь, МПК Н05Н 1/26 (2006.01) / А.Л. Голозубов, А.А. Голозубова; Д.А. Ворончук; Ю.Н. Купрацевич; заявитель УО «МГПУ им. И.П. Шамякина». – № u 20120452; опубл. 2012.12.30 // Официальный бюл. / Нац. центр интеллектуал. собственности. – 2012. – № 6.