PERFECTION OF DESIGN PLASMAGENERATOR FOR PLASMA CHEMICAL DRAWING OF THIN-FILM COVERINGS
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
Are considered technological and design features arc plasma generator for drawing of thin-film siliceous coverings by sedimentation from arc plasma at atmospheric pressure. The spent complex of experimental and design works has allowed to optimise technology of drawing of thin-film coverings, to improve quality of a put covering and to raise stability of process at the expense of use of the new decisions excluding or negative processes considerably weakening display inside plasma generator.
Article Details
![Creative Commons License](http://i.creativecommons.org/l/by/4.0/88x31.png)
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
A. GOLOZUBOV, Mozyr State Pedagogical University named after I. P. Shamyakin
канд. техн. наук, доц.
References
Голозубов, А.Л. Теоретические и технологические аспекты осаждения защитных тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий из дуговой низкотемпературной плазмы при атмосферном давлении / А.Л. Голозубов. – Мозырь: Белый ветер, 2012. – 218 с.
Плазмотрон для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 2306 Респ. Беларусь, С1 BY, МКИ6 Н 05Н 1/26 / А.Л. Голозубов, Э.М. Пархимович, О.В. Иванина, А.Р. Андреев. – № 950023; заявл. 10.01.1995; опубл. 16.03.1998 // Афіцыйны бюл. / Дзярж. пат. ведамства Рэсп. Беларусь. – 1998. – № 3. – С. 222.
Конструкция анода плазмотрона для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 7362 Респ. Беларусь, МПК Н05Н 1/26 (2006.01) / А.Л. Голозубов, А.М. Старовойтов, А.А. Голозубова; заявитель УО «МГПУ им. И.П. Шамякина». – № u 20100984; опубл. 2011.06.30 // Официальный бюл. / Нац. центр интеллектуал. собственности. – 2011. – № 3.
Анод плазмотрона для плазмохимического нанесения покрытий: пат. 8893 Респ. Беларусь, МПК Н05Н 1/26 (2006.01) / А.Л. Голозубов, А.А. Голозубова; Д.А. Ворончук; Ю.Н. Купрацевич; заявитель УО «МГПУ им. И.П. Шамякина». – № u 20120452; опубл. 2012.12.30 // Официальный бюл. / Нац. центр интеллектуал. собственности. – 2012. – № 6.