ПЛАЗМЕННЫЕ ЭМИССИОННЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ. Часть 1
##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Аннотация
С целью поддержания конкурентоспособности на рынке машиностроения, предприятия вынуждены предъявлять более жесткие требования к качеству производимой продукции, в связи с чем повышаются требования к процессам сварки, обработки поверхности и др. Для достижения предъявляемых требований предлагается использовать плазменный источник электронов. Представлены основные электронно-лучевые технологии. Предложена газоразрядная структура источника, способная формировать электронные и ионные пучки с параметрами, удовлетворяющими представленным технологиям.
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Библиографические ссылки
Окс, Е. М. Источники электронов с плазменным катодом: физика, техника, применения / Е. М. Окс. – Томск : Изд-во НТЛ, 2005. – 216 с.
Источники электронов с плазменным эмиттером / Ю. Е. Крейндель [и др.] ; под общ. ред. Ю. Е. Крейнделя. – Новосибирск : Наука, 1983. – 120 с.
Залесский, В. Г. Эмиссионные и электронно-оптические системы плазменных источников электронов : дис. … д-ра физ.-мат. наук : 01.04.04 / В. Г. Залесский. – Минск, 2015. – 316 л.
Плазменный эмиттер электронов с сеточной стабилизацией : в 2 ч. / А. В. Жаринов [и др.] // ЖТФ. – 1986. – Т. 56, Вып. 1. – Ч. I. – С. 66–70.
Разработка и применение источников интенсивных электронных пучков : сб. науч. тр. / науч. ред. Г. А. Месяц. – Новосибирск : Наука, 1976. – 191 с.
Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / А. П. Достанко [и др.] ; под общ. ред. А. П. Достанко. – Минск : Бестпринт, 2009. – 199 с.
Ионно-плазменные технологии в электронном производстве / В. Т. Барченко [и др.] ; под общ. ред. Ю. А. Быстрова. – СПб. : Энергоатомиздат, 2001. – 332 с.