MODIFICATION OF POLYIMIDE FILMS STRUCTURE BEYOND THE PROJECTED RANGE AT ION IMPLANTATION
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
Thin (40 mm) films of polyimide have been implanted by Ni+, Mn+, Fe+, Co+, Ag+ и B+ ions with energy 30…100 keV in a dose range D = 1·1015…1,5·1017 см-2 at ions current density j = 4… 12 mА/см2. Reflectivity of non-implanted surface have been investigated in the wave length range 210…480 nm. Increasing of integral reflectivity coefficient and reflection intensity at λ1 = 254 and λ2 = 311 nm were observed because of elastic exertion relaksation of polyimide structure in near-surface region during implantation beyond ions projected range.
Article Details
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
References
Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы: в 2-х ч. / У. Моро. Ч. 2. – М.: Мир, 1990. – 632 с.
Радиационная модификация полиимида в процессе субмикронной рентгенолитографии / В.П. Назьмов [и др.] // Поверхность. – 2002. – № 12. – С. 16–26.
Попок, В.Н. Влияние высоких доз имплантации и плотности ионного тока на свойства пленок полиимида / В.Н. Попок, И.И. Азарко, Р.И. Хабибуллин // Журнал технической физики. – 2002. – Т. 72, № 4. – С. 88–93.
Оптические свойства пленок полиимида, имплантированных ионами серебра / Ю.А. Бумай и [др.] // Материалы, технологии, инструменты. – 2010. – Т. 15, № 4. – С. 54–58.
Оптические характеристики композита, полученного имплантацией ионов серебра в полиэтилентерефталат/ Ю.А. Бумай [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2012. – Т. 79, № 5. – C. 781–787.
Particle interactions with matter [Electronic resource] / ed. James F. Ziegler. – U.S.N.A. Annapolis, MD, USA. – Mode of access: http://www.srim.org/. – Date of access: 30.10.2013.
Тетельбаум, Д.И. Эффект дальнодействия при малоинтенсивном облучении твердых тел / Д.И. Тетельбаум, Е.В. Курильчик, Ю.А. Менделеева // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2009. – № 3. – С. 94–103.
О едином подходе к интерпретации эффекта дальнодействия при облучении твердых тел заряженными частицами и фотонами светового диапазона / Д.И. Тетельбаум [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2000. – № 5. – С. 87–89.
Левшунова, В.Л. Автоколебания распределенных зарядов в естественном оксиде на поверхности кремния как источник возбуждения процессов, ответственных за эффект дальнодействия / В.Л. Левшунова, Г.П. Похил, Д.И. Тетельбаум // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2011. – № 3. – C. 76–79.
Ионная имплантация полимеров / В.Б. Оджаев [и др.]. – Минск: БГУ, 1998. – 197 с.
Экспериментальные методы химии высоких энергий / под общ. ред. М.Я. Мельникова. – М.: МГУ, 2009. – С. 169–178.
Пикаев, А.К. Современная радиационная химия. Твердое тело и полимеры. Прикладные аспекты / А.К. Пикаев. – М.: Наука, 1987. – 448 с.
Светочувствительные полимерные материалы / под ред. А.В. Ельцова. – Л.: Химия, 1985. – 296 с.
Структура поверхностных слоев полипирометиллитимида, модифицированных щелочами / М.М. Котон [и др.] // Доклады АН СССР. – 1982. – Т. 26, № 3. – С. 660–664.