MODELLING CHARACTERISTICS OF THE GAS DISCHARGE IN CROSSED ELECTRICAL AND MAGNETIC FIELD: MAIN PHYSICAL PROCESSES AND BASIC ENGINEERING MODELS
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
The results of simulation of the basic gas discharge characteristics in crossed electric and magnetic fields with the cathode and anode potential drop are represented. Picture of the physical phenomena at the electrodes and electrode space are considered. Physical transparency engineering analysis models, which, despite their simplicity, present the experimental data fairly well, are described.
Article Details
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
References
Данилин, Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б.С. Данилин. – М.: Энергоатомиздат, 1987. – 264 с.
Кузьмичев, А.И. Магнетронные распылительные системы / А.И. Кузьмичев. – Киев: Аверс, 2008. – Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления. – 244 с.
Данилин, Б.С. Получение тонких пленок методом ионного покрытия / Б.С. Данилин, В.И. Мазутенко // Зарубежная электроника. – 1978. – Вып. 2. – С. 3 – 57.
Грановский, В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток / В.Л. Грановский; под ред. Л.А. Сена и В.Е. Голанта. – М.: Наука, 1971. – 543 с.
Shuurman, W. Investigation of a low pressure Penning discharge / W. Shuurman // Physica. – 1967. – V. 36, № 1. – Р. 136 – 141.
Крейндель, Ю.Е. Плазменные источники электронов / Ю.Е. Крейндель. – М.: Атомиздат, 1977. – 144 с.
Абрамов, И.С. Математическое моделирование приборов и устройств плазменной электроники / И.С. Абрамов, В.Т. Барченко. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 1999. – 72 с.
Барченко, В.Т. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве / В.Т. Барченко, Ю.А. Быстров, Е.А. Колгин. – СПб.: Энергоатомиздат. – С-Петерб. отд-ние, 2001. – 332 с.
Most read articles by the same author(s)
- D. ANTONOVICH, V. GRUZDEV, P. SOLDATENKO, V. ZALESSKI, PLASMA-EMISSION SYSTEMS FOR ELECTRON-BEAM TECHNOLOGIES, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2017)
- V. ZALESSKI, I. POBOL, V. GRUZDEV, D. ANTONOVICH, P. SOLDATENKO, PLASMA-EMISSION SYSTEMS FOR ELECTRON-BEAM TECHNOLOGIES. Part 1, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 12 (2016)
- V. ZALESSKI, R. BOHUSH, СТАНОВЛЕНИЕ И РАЗВИТИЕ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ В ОБЛАСТИ ЭЛЕКТРОФИЗИКИ И ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В ПОЛОЦКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2013)
- V. GRUZDEV, V. ZALESSKI, ABOUT THE MECHANISM OF OCCURRENCE OF ELECTRIC FIELD IN PLASMA AT ELECTRON EMISSION, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2014)
- D. ANTONOVICH, V. GRUZDEV, V. ZALESSKI, ELEKTRON AND ION SOURCE FOR REALIZATION THE COMBINED INFLUENCE ON THE SURFACE, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2014)
- V. BARCHENKO, N. BABINOV, PLASMA FAST NEUTRALS SOURCE WITH LOW OPERATING PRESSURE, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2014)
- V. BARCHENKO, M. VINOGRADOV, RESEARCH AND MODELLING OF THE HELIUM-SELECTIVE SENSOR FOR PORTABLE LEAK DETECTOR, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2013)
- V. GRUZDEV, V. ZALESSKI, P. SOLDATENKO, PLASMA ELECTRON AND IONIC SOURCE, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2013)