ПРИНЦИПЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ И РАЗРАБОТКИ ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ДЛЯ ОБОРУДОВАНИЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

Просмотров аннотации: 4
Загрузок PDF: 0
pdf (rus)
Опубликован: ноя 18, 2024
DOI: https://doi.org/10.52928/2070-1624-2024-43-2-2-9
Ключевые слова:
СБИС, архитектура программного обеспечения систем технического зрения, установки контроля критических размеров в микроэлектронике VLSI, software architecture of machine vision systems, systems for inspection of work masks in microelectronics
Выпуск
№ 2 (2024)
Раздел
Информатика, вычислительная техника и управление

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

С. М. АВАКОВ
ОАО «Планар», Минск
А. А. ВОРОНОВ
Объединенный институт проблем информатики НАН Беларуси, Минск
В. В. ГАНЧЕНКО
Объединенный институт проблем информатики НАН Беларуси, Минск

Аннотация

Изложены принципы создания программного обеспечения для установок, применяемых в микроэлектронной промышленности для проверки качества топологических структур, играющих ключевую роль в технологическом процессе производства установок контроля критических размеров и автоматического поиска дефектов. Предложен оригинальный алгоритм выбора функции резкости и проведены экспериментальные исследования, подтверждающие его эффективность для получения качественных исходных изображений топологии микросхем. Это обеспечивает высокую точность выполнения измерений установкой контроля критических размеров c использованием системы технического зрения и, как результат, повышает процент выхода годных изделий в микроэлектронике.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
АВАКОВ, С. М., ВОРОНОВ, А. А., & ГАНЧЕНКО, В. В. (2024). ПРИНЦИПЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ И РАЗРАБОТКИ ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ДЛЯ ОБОРУДОВАНИЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (2), 2-9. https://doi.org/10.52928/2070-1624-2024-43-2-2-9
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Биографии авторов

С. М. АВАКОВ, ОАО «Планар», Минск

д-р техн. наук, доц.

А. А. ВОРОНОВ, Объединенный институт проблем информатики НАН Беларуси, Минск

канд. техн. наук, доц.

В. В. ГАНЧЕНКО, Объединенный институт проблем информатики НАН Беларуси, Минск

канд. техн. наук

Crossref
Scopus
Google Scholar
Europe PMC

Библиографические ссылки

Avakov, S., Ovchinnikov, V., Karpovich, S., Titko, E., & Trapashko, G. (2007). Optiko-mehanicheskie kompleksy dlja bezdefektnogo izgotovlenija fotoshablonov 0,35 mkm i 90 nm. Fotonika, (6), 35–39. (In Russ.).

Falk, G. (2018). Gibkie reshenija dlja opticheskogo kontrolja kachestva. Nanoindustrija, (1), 24–26. DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.24.26. (In Russ.).

Buch, G. (1999). Ob"ektno-orientirovannyj analiz i proektirovanie s primerami prilozhenij na C++. St. Petersburg: Nevskij dialekt. (In Russ.).

Boggs, U., & Boggs, M. (2000). UML i Rational Rose. Moscow: Lori. (In Russ.).

Soifer, V. A. (2003). Metody komp'yuternoi obrabotki izobrazhenii. Moscow: Fizmatlit. (In Russ.).

Gonsales, R., & Vuds, R. (2005). Tsifrovaya obrabotka izobrazhenii. Moscow: Tekhnosfera. (In Russ.).

Dudkin, A. A., & Sadykhov, R. Kh. (2008). Obrabotka izobrazhenii v proektirovanii i proizvodstve integral'nykh skhem. Minsk: UIIP NAS Belarus. (In Russ.).

Ablameiko, S. V., Kharin, Yu. S., Sadykhov, R. Kh., Starovoitov, V. V., & Tuzikov, A. V. (2003). Raspoznavanie i analiz stokhasticheskikh dannykh i tsifrovykh izobrazhenii. Vestnik Fonda fundamental'nykh issledovanii, (4), 101–106. (In Russ.).

Krasnoproshin, V. V., & Obraztsov, V. A. (2006). Problems of Solvability and Choice of Algorithms for Decision Making by Precedence. Pattern Recognit. Image Anal., 16(2), 155–169. DOI: 10.1134/S1054661806020027.

Gamma, E., Khelm, R., Dzhonson, R., & Vlissides, Dzh. (2001). Priemy ob"ektno-orientirovannogo proektirovaniya. Patterny proektirovaniya. St. Petersburg: Piter. (In Russ.).

Larman, K. (2002). Primenenie UML i shablonov proektirovaniya. Moscow: Vil'yams. (In Russ.).

Knut, D. E. (2000). Iskusstvo programmirovaniya: v 4 t. T. 3: Sortirovka i poisk [The Art of Computer Programming (in 4 vol., Vol. 3: Sorting and Searching)]. – St. Petersburg: Vil'jams. (In Russ.).

Tian, Q., Fainman, I., & Lee, S. H. (1988). Comparison of statistical pattern-recognition algorithms for hybrid processing. II. Eigenvector-based algorithm. J. Optical Society America A, 5(10), 1669–1681. DOI: 10.1364/JOSAA.5.001670.

Moganti, M., Erçal, F., Dagli, C. H., & Tsunekawa, S. (1996). Automatic PCB Inspection Algorithms: A Survey. Comput. Vis. Image Underst., 63(2), 287–313. DOI: 10.1006/cviu.1996.0020.