ТЕХНОЛОГИЯ КОМПЬЮТЕРНОГО ЗРЕНИЯ В ОПТИЧЕСКОЙ МИКРОСКОПИИ
Abstract
В работе представлены результаты применения технологии компьютерного зрения для обработки цветных изображений поверхности материала после проведения микроиндентирования. Реализован алгоритм обработки цветных изображений поверхности полимера после испытаний на микротвердость, имеющий своей целью определение геометрических размеров отпечатков, контуров областей навалов и разрушений полимера, длин трещин. Это имеет существенное значение для повышения объективности информации о прочностных свойствах полупроводника, в частности, расчета прочностных характеристик: микротвердости, трещиностойкости, удельной энергии отслаивания пленки.
References
Литвинов, Ю.М. Методология определения механических свойств полупроводниковых материалов с помощью метода непрерывного вдавливания индентора/ Ю.М. Литвинов, М.Ю. Литвинов// Известия вузов. Материалы электронной техники. – 2004. – № 4. – С.11-16.
Вабищевич, С.А. Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120-кремний / С.А. Вабищевич [и др.]// Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. Физика. – 2014. – № 12. – C.69-73.
Вабищевич, С.А. Физико-механические свойства облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии/ С.А. Вабищевич [и др.]// Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. Физика – 2020. – №12. – C.60-64.
Bradski, G. Learning OpenCV. Computer vision with the OpenCV library/ G.Bradski, A.Kaehler //O'Reilly Media, Inc., – 2008. – 556 p.
Бринкевич, Д.И. Микротвердость пленок полиимида и полиэтилентерефталата, облученных гамма-квантами 60Co / Д.И. Бринкевич [и др.] // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. Физика – 2017. – №12. – C.30-34.
Колесников, Ю.В. Механика контактного разрушения / Ю.В. Колесников, Е.М. Морозов. – М.: Наука, 1989. – 220 с.
Вабищевич, С.А. Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ / С.А. Вабищевич [и др.] // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. Физика – 2016. – № 12. – C.30-36.
