ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛОВ С ПОНИЖЕННЫМ РАБОЧИМ ДАВЛЕНИЕМ
##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Аннотация
Рассматривается создание плазменного источника быстрых нейтральных частиц, способного работать в условиях пониженного давления в технологической камере. Задача снижения рабочего давления источника быстрых нейтралов, являясь важной для повышения качества формируемых поверхностей и структур, требует решения двух проблем: снижения минимального давления горения газового разряда и обеспечения эффективной нейтрализации ускоренных ионов и получения пучка быстрых нейтралов. Авторами изучены обе проблемы, рекомендованы методы их решения. Предложена трехэлектродная конструкция источника быстрых нейтралов, в которой введение дополнительного электрода уменьшает нижний диапазон давлений газового разряда, а также позволяет создать разность давлений между внешним и внутренним объемами источника, что дополнительно снижает рабочее давление. Также рассмотрены характеристики созданного прототипа источника быстрых нейтралов.
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Библиографические ссылки
Shimokawa, F. Reactive-fast-atom beam etching of GaAs using Cl2 gas / F. Shimokawa // J. Appl. Phys. – 1989. – V. 66, № 6. – P. 2613 – 2618.
Маишев, Ю.П. Физические принципы формирования пучков быстрых атомов резонансной перезарядкой пучков ионов / Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук, Т.Н. Матвеев // Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника (физика, технология, диагностика и моделирование: тр. ФТИАН. Т. 19. – М.: Наука, 2008. – С. 69 – 77.
Грановский, В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток / В.Л. Грановский. – М.: Изд-во «Наука». Гл. ред. физ.-мат. лит., 1971. – 543 с.
Барченко, В.Т. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве / В.Т. Барченко, Ю.А. Быстров, Е.А. Колгин. – СПб.: Энергоатомиздат, 2001. – 332 с.
Григорьев, С.Н. Модификация поверхности тлеющим разрядом с электростатическим удержанием электронов / С.Н. Григорьев, А.С. Метель. – М.: МГТУ «Станкин», «Янус-К», 2007. – 452 с.