МЕТОДИКА РАСЧЕТА ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ТОЛЩИНЫ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ
##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Анатацыя
Представлена методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий. Исследовано влияние нагрева оптических деталей на воспроизводимость оптической толщины многослойных узкополосных фильтров второго порядка на основе окислов циркония и кремния, получаемых на вакуумных установках моделей ВУ-800, ВУ-2М и ВУ-1А. Предложено для более точной количественной оценки воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий, кроме величины относительного стандартного отклонения, экспериментально определять величину доверительной вероятности.
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Гэты твор даступны па ліцэнзіі Creative Commons «Attribution» («Атрыбуцыя») 4.0 Сусветная.
А. П. ДОСТАНКО, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
акад. НАН Беларуси, д-р техн. наук, проф.
В. С. ТОМАЛЬ, НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск
канд. техн. наук
Н. К. КАСИНСКИЙ, НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск
канд. техн. наук
И. А. ИВАНОВ, Белорусский национальный технический университет, Минск
д-р техн. наук, доц.
Бібліяграфічныя спасылкі
Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений: ГОСТ Р ИСО 5725-1. – Минск, 2002. – Ч. 1: Основные правила и определения.
Томаль, В.С. Воспроизводимость свойств оптических вакуумных покрытий. Материалы. Технологии. Инструменты / В.С. Томаль, Н.К. Касинский, И.В. Иванов. – 2013. – Т. 18, № 1. – С. 75 – 77.
Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов [и др.]; под ред. М.А. Окатова. – СПб.: Политехника, 2004. – 679 с.
Письменный, Д.Т. Конспект лекций по теории вероятности, математической статистике и случайным процессам / Д.Т. Письменный. – М.: Айрис-Пресс, 2008. – 320 с.