METHOD OF CALCULATING THE REPRODUCIBILITY OF OPTICAL VACUUM COATING THICKNESS

Article Sidebar

Abstract views: 2
PDF Downloads: 1
pdf (rus) (Русский)
Published: Aug 30, 2013
Issue
No. 11 (2013)
Section
Machine science and mechanical engineering

Main Article Content

A. DOSTANKO
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, Minsk
V. TOMAL
НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск
N. KASINSKI
НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск
I. IVANOV
Belarusian National Technical University, Minsk

Abstract

Methodology of calculation of reproducibility of optical vacuum coating thickness is presented. The influence of heating of the optical parts on the reproducibility of the optical thickness of the multilayer narrow-band filters of second order on the basis of oxide ZrO2 and SiO2, received on vacuum systems models ВУ-800, ВУ-2М and ВУ-1А is studied. For better quantitative estimation of the reproducibility of the optical thickness of the vacuum coating, apart from the relative standard deviation it is proposed to experimentally determine the value of confidential probability.

Article Details

How to Cite
DOSTANKO, A., TOMAL, V., KASINSKI, N., & IVANOV, I. (2013). METHOD OF CALCULATING THE REPRODUCIBILITY OF OPTICAL VACUUM COATING THICKNESS. Vestnik of Polotsk State University. Part B. Industry. Applied Sciences, (11), 2-5. Retrieved from https://journals.psu.by/industry/article/view/9357
Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Author Biographies

A. DOSTANKO, Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, Minsk

акад. НАН Беларуси, д-р техн. наук, проф.

V. TOMAL, НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск

канд. техн. наук

N. KASINSKI, НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск

канд. техн. наук

I. IVANOV, Belarusian National Technical University, Minsk

д-р техн. наук, доц.

References

Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений: ГОСТ Р ИСО 5725-1. – Минск, 2002. – Ч. 1: Основные правила и определения.

Томаль, В.С. Воспроизводимость свойств оптических вакуумных покрытий. Материалы. Технологии. Инструменты / В.С. Томаль, Н.К. Касинский, И.В. Иванов. – 2013. – Т. 18, № 1. – С. 75 – 77.

Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов [и др.]; под ред. М.А. Окатова. – СПб.: Политехника, 2004. – 679 с.

Письменный, Д.Т. Конспект лекций по теории вероятности, математической статистике и случайным процессам / Д.Т. Письменный. – М.: Айрис-Пресс, 2008. – 320 с.