МЕТОДИКА РАСЧЕТА ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ТОЛЩИНЫ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

А. П. ДОСТАНКО
В. С. ТОМАЛЬ
Н. К. КАСИНСКИЙ
И. А. ИВАНОВ

Аннотация

Представлена методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий. Исследовано влияние нагрева оптических деталей на воспроизводимость оптической толщины многослойных узкополосных фильтров второго порядка на основе окислов циркония и кремния, получаемых на вакуумных установках моделей ВУ-800, ВУ-2М и ВУ-1А. Предложено для более точной количественной оценки воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий, кроме величины относительного стандартного отклонения, экспериментально определять величину доверительной вероятности.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
ДОСТАНКО, А. П., ТОМАЛЬ, В. С., КАСИНСКИЙ, Н. К., & ИВАНОВ, И. А. (2013). МЕТОДИКА РАСЧЕТА ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ТОЛЩИНЫ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, (11), 2-5. извлечено от https://journals.psu.by/industry/article/view/9357
Биографии авторов

А. П. ДОСТАНКО, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

акад. НАН Беларуси, д-р техн. наук, проф.

В. С. ТОМАЛЬ, НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск

канд. техн. наук

Н. К. КАСИНСКИЙ, НП РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника», Минск

канд. техн. наук

И. А. ИВАНОВ, Белорусский национальный технический университет, Минск

д-р техн. наук, доц.

Библиографические ссылки

Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений: ГОСТ Р ИСО 5725-1. – Минск, 2002. – Ч. 1: Основные правила и определения.

Томаль, В.С. Воспроизводимость свойств оптических вакуумных покрытий. Материалы. Технологии. Инструменты / В.С. Томаль, Н.К. Касинский, И.В. Иванов. – 2013. – Т. 18, № 1. – С. 75 – 77.

Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов [и др.]; под ред. М.А. Окатова. – СПб.: Политехника, 2004. – 679 с.

Письменный, Д.Т. Конспект лекций по теории вероятности, математической статистике и случайным процессам / Д.Т. Письменный. – М.: Айрис-Пресс, 2008. – 320 с.