ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА AZ nLOF 5510, ОБЛУЧЕННЫЕ ЭЛЕКТРОНАМИ

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

Просмотров аннотации: 7
Загрузок PDF: 3
pdf (rus)
Опубликован: апр 18, 2025
DOI: https://doi.org/10.52928/2070-1624-2025-44-1-39-46
Ключевые слова:
негативный фоторезист, ИК-Фурье-спектроскопия, ионное травление, облучение электронами, растворитель negative photoresist, IR-Fourier spectroscopy, ionic etching, electron radiation, solvent
Выпуск
№ 1 (2025)
Раздел
Электрофизика, электрофизические установки (технические науки)

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

С. А. АБРАМОВ
Белорусский государственный университет, Минск
Д. И. БРИНКЕВИЧ
Белорусский государственный университет, Минск
В. С. ПРОСОЛОВИЧ
Белорусский государственный университет, Минск
О. А. ЗУБОВА
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ», Минск
С. А. ВАБИЩЕВИЧ
Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой
Н. В. ВАБИЩЕВИЧ
Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой
Зоир Тохир ўғли КЕНЖАЕВ
Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова
С. Б. ЛАСТОВСКИЙ
ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению», Минск

Аннотация

Методом ИК-Фурье-спектроскопии с использованием приставки для диффузного отражения исследованы пленки негативных фоторезистов (ФР) AZ nLOF 5510 толщиной 0,99 мкм, нанесенные на поверхность пластин кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 3,5 МэВ дозой до Ф = 7·1016·см–2 проводилось на линейном ускорителе электронов ЭЛУ-4. Показано, что углерод-водородные связи основного компонента фоторезиста – фенолформальдегидной смолы – стабильны вплоть до доз ~ (1–3)·1016 см–2. Связанные с растворителем полосы исчезают из спектра при дозах облучения < 1·1015 см–2. При облучении в интервале волновых чисел 1620–1660 см–1 возникают полосы, обусловленные формальдегидом, образующимся в результате реакции β-фрагментации кислород-центрованного радикала. Полосы, связанные с колебаниями ароматического кольца, достаточно стабильны. Их интенсивность заметно снижается только при дозе Ф = 7∙1016 см-2. В области валентных колебаний кратных связей С=О при облучении наблюдалась сложная перестройка спектра, обусловленная несколькими процессами, протекающими при взаимодействии компонентов фоторезиста во время облучения электронами. В частности, могут наблюдаться трансформация ближайших заместителей связей С=О, сшивка молекул, увеличение количества сопряженных кратных связей как результат формирования хиноидных структур.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
АБРАМОВ, С. А., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., ЗУБОВА, О. А., ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ВАБИЩЕВИЧ, Н. В., КЕНЖАЕВ, З. Т. ў., & ЛАСТОВСКИЙ, С. Б. (2025). ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА AZ nLOF 5510, ОБЛУЧЕННЫЕ ЭЛЕКТРОНАМИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (1), 39-46. https://doi.org/10.52928/2070-1624-2025-44-1-39-46
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Биографии авторов

Д. И. БРИНКЕВИЧ, Белорусский государственный университет, Минск

канд. физ.-мат. наук

В. С. ПРОСОЛОВИЧ, Белорусский государственный университет, Минск

канд. физ.-мат. наук, доц.

С. А. ВАБИЩЕВИЧ, Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой

канд. физ.-мат. наук, доц.

Зоир Тохир ўғли КЕНЖАЕВ, Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова

д-р философии (PhD) по физ.-мат. наукам, доц.

С. Б. ЛАСТОВСКИЙ, ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению», Минск

канд. физ.-мат. наук

Crossref
Scopus
Google Scholar
Europe PMC

Библиографические ссылки

Pretsch E., Bühlmann, P., & Affolter C. (2000). Structure Determination of Organic Compounds. Tables of Spectral Data. Berlin – Heidelberg: Springer – Verlag.

Brinkevich, S. D., Grinyuk, E. V., Brinkevich, D. I., & Prosolovich V. S. (2020). Modification of Diazoquinone–Novolac Photoresist Films beyond the Region of Implantation of B+ Ions. High energy chemistry, 54(5), 342–351. DOI: 10.31857/S0023119320050046.

Brinkevich, D. I., Kharchenko, A. A., Prosolovich, V. S., Odzhaev, V. B., Brinkevich, S. D., & Yankovski, Yu. N. (2019). Reflection spectra modification of diazoquinone-novolak photoresist implanted with B and P ions. Russian Microelectronics, 48(3), 197–201. DOI: 10.1134/S1063739719020021.

Brinkevich, D. I., Grinyuk, E. V., Prosolovich, V. S., Brinkevich, S. D., Kolos, V. V., & Zubova, O. A. (2025). Otrazhatel'no-absorbtsionnaya IK Fur'e-spektroskopiya fotorezistivnykh plenok na kremnii [Reflective Absorption IR Fourier-Spectroscopy of Photoresistive Films on Silicon]. Pribory i metody izmerenii [Devices and methods of measurements], 16(1), 242–250. (In Russ., abstr. in Engl.).

Odzhaev, V. B., Pyatlitski, A. N., Prosolovich, V. S., Kovalchuk, N. S., Soloviev, Ya. A., Zhygulin, D. V., … Brinkevich, D. I. (2022). Attenuated Total Reflection Spectra of Nitrided SiO2/Si Structures. Journal of Applied Spectroscopy, 89(4), 665–670. DOI: 10.1007/s10812-022-01408-3.

Poljansek, I., Sebenik, U., Krajnc, M. (2006). Characterization of phenol–urea–formaldehyde resin by inline FTIR spectroscopy. Journal of Applied Polymer Science, 99(5), 2016–2028. DOI: 10.1002/app.22161.

Brinkevich, D. I., Brinkevich, S. D., Petlitsky, A. N., & Prosolovich, V. S. (2021). Transformation of the Spectra of a Attenuated Total Reflection when Drying a Diazoquinone-Novolach Photoresist. Russian Microelectronics, 50(4), 239–245. DOI: 10.1134/S106373972104003X.

Brinkevich, S. D., Brinkevich, D. I., & Prosolovich, V. S. (2021). Modification of Diazoquinone-Novolac Photoresist Films by the Implantation of Antimony Ions. Russian Microelectronics, 50(1), 33–38. DOI: 10.1134/S1063739720060025.

Brinkevich, S. D., Brinkevich, D. I., Prosolovich, V. S., Lastovskii, S. B., & Pyatlitski, A. N. (2021). Frustrated total internal reflection spectra of diazoquinone–novolac photoresist films. Journal of Applied Spectroscopy, 87(6), 1072–1078. DOI: 10.1007/s10812-021-01111-9.

Tolstorozhev, G. B., Skornyakov, I. V., Bel'kov, M. V., Shadyro, O. I., Brinkevich, S. D., & Samovich, S. N. (2012). IR spectra of benzaldehyde and its derivatives in different aggregate states. Opt. Spektrosk., 113(2), 179–183.

Belkov, M. V., Brinkevich, S. D., Samovich, S. N., Skornyakov, I. V., Tolstorozhev, G. B., & Shadyro, O. I. (2011). Infrared spectra and structure of molecular complexes of aromatic acids. J. Appl. Spectrosc., 78(6), 794–801.

Böcker, J. (1997). Spektroskopie. Wurzburg (Germany): Vogel Industrie Medien GmbH & Co KG.

Brinkevich, D. I., Brinkevich, S. D., Vabishchevich, N. V., Odzhaev, V. B., & Prosolovich, V. S. (2014). Ion implantation of positive photoresists. Russian Microelectronics, 43(3), 194–200. DOI: 10.1134/S106373971401003X.

Oleshkevich, A. N., Lapchuk, N. M., Odzhaev, V. B., Karpovich, I. A., Prosolovich, V. S., Brinkevich, D. I., & Brinkevich, S. D. (2020). Electronic Conductivity in a Р+-Ion Implanted Positive Photoresist. Russian Microelectronics, 49(1), 55–61. DOI: 10.1134/S1063739719060076.

Рекомендуемые статьи автора (авторов)

<< < 1 2 3 4 > >>