Опубликован: 2025-04-18

ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА AZ nLOF 5510, ОБЛУЧЕННЫЕ ЭЛЕКТРОНАМИ

С. А. АБРАМОВ, Д. И. БРИНКЕВИЧ, В. С. ПРОСОЛОВИЧ, О. А. ЗУБОВА, С. А. ВАБИЩЕВИЧ, Н. В. ВАБИЩЕВИЧ, Зоир Тохир ўғли КЕНЖАЕВ, С. Б. ЛАСТОВСКИЙ

39-46

ИНДЕНТИРОВАНИЕ ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ОБРАТНОЙ ЛИТОГРАФИИ

С. А. ВАБИЩЕВИЧ, Д. И. БРИНКЕВИЧ, В. С. ПРОСОЛОВИЧ, О. А. ЗУБОВА, О. В. ТАНАНА, Н. В. ВАБИЩЕВИЧ, Б. К. ИСМАЙЛОВ

53-60