REFLECTION SPECTRA OF Γ-IRRADIATED FILMS OF DIAZOQUINONE-NOVOLAK PHOTORESIST
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
Measuring the reflectance spectra were studied by γ-rays irradiated 60Co films positive photoresist FP9120 1,8 microns thick, deposited on the surface of silicon wafers brand KDB-10 (111) by centrifugation. It is shown that irradiation 60Co γ-rays leads to the formation of the modified polymer layer having a refractive index different from the bulk. A no monotonic dependence of the refractive index of the surface layer of photoresist with increasing radiation dose, due to the change of the molar mass of the polymer during irradiation.
Article Details
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
References
Photoimageable nozzle members and methods relating thereto : pat. US 8173031 / S.T. Weaver, R. Wells. – Publ. date 08.05.2012.
Применение фоторезистивных масок для маскирования ионного пучка в технологии КМОП- интегральных схем / С.В. Гранько [и др.] // Вестник Нижегородского университета. Сер. Физика. – 2001. – № 2. – С. 41–47.
Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / У. Моро. – М. : Мир, 1990. – Ч. 2. – 632 с.
Ion implantation of positive photoresists / D.I. Brinkevich [et al.] // Russian Microelectronics. – 2014. – V. 43, № 3. – P. 194–200.
Грасси, Н. Деструкция и стабилизация полимеров / Н. Грасси, Дж. Скотт. – М. : Мир, 1988. – 446 с.
Модификация приповерхностных слоев пленок полиэтилентерефталата при облучении γ-квантами / Ю.А. Бумай [и др.] // Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2012. – № 3. – C. 41–44.
Radiation-induced modification of polymer surfaces / A.A. Kharchenko [et al.] // J. of Surface Investigation. X-ray, synchrotron and neutron techniques. – 2015. – V. 9, № 2. – P. 371–376.
Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ / С.А. Вабищевич [и др.] // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С, Фундаментальные науки. – 2016. – № 12. – C. 51–57.
Структура пленок полиэтилентерефталата, модифицированных под воздействием ускоренных электронов / А.Н. Красовский [и др.] // Химия высоких энергий. – 2009. – Т. 43, № 2. – С. 134–142.
Функциональные превращения на поверхности пленок полиэтилентерефталата под действием ускоренных электронов / И.В. Васильева [и др.] // Химия высоких энергий. – 2003. – Т. 37, № 3. – С. 180–184.
Волынский, А.Н. Роль поверхностных явлений в структурно-механическом поведении полимеров / А.Н. Волынский, Н.Ф. Бакеев. – М. : Физматлит, 2014. – 536 с.
Экспериментальные методы химии высоких энергий / под общ. ред. М.Я. Мельникова. – М. : МГУ, 2009. – 824 с.
Веттегрень, В.И. Тепловые и флуктуационные деформации химических связей в поверхностных и граничных слоях полимеров / В.И. Веттегрень, И.И. Новак, Б.В. Кулик // Физика твердого тела. – 2005. – Т. 47, № 5. – С. 893–898.
Zezin, A.A. Formation and reactions of paramagnetic species in irradiated microheterogeneous copolymer systems with different electronic characteristics of components / A.A. Zezin, V.I. Feldman // Radiat. Phys. Chem. – 2002. – V. 63. – P. 75–80.
Electron beam induced modification of poly(ethylene terephthalate) films / I.V. Vasiljeva [et al.] // Applied Surface Science. – 2006. – V. 252, № 24. – P. 8768–8775.
Effect of electron irradiation on polypropylene films / S. Shahidi [et al.] // Plasma Science and Technology. – 2011. – V. 13, № 2. – P. 194–196.
Fang, Zhi. Surface treatment of polyethylene terephthalate films using a microsecond pulse homogeneous dielectric barrier discharges in atmospheric air/ Zhi Fang, Hao Yang, Yuchang Qiu // IEEE Transactions on Plasma Science. – 2010. – V. 38, № 7. – P. 1615–1623.
Аскадский, А.А. Компьютерное материаловедение полимеров / А.А. Аскадский, В.И. Кондрашенко. – М. : Научный мир, 1999. – Т. 1 : Атомно-молекулярный уровень. – 544 с.