THE ELECTRODE STRUCTURE OF A PLASMA ELECTRON-ION SOURCE FOR THE SIMULTANEOS FORMATION OF ELECTRON AND ION BEAMS
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
The experience of developing and using electron and ion sources with plasma emitters suggests the possibility of creating a combined ion-electron beam based on a single plasma structure with certain electrostatic layers in it, forming ion and electron flows in the same direction and in a single volume. In this work, the experimental electrode structure of a plasma electron-ion source for the joint formation of electron and ion beams is proposed, a number of characteristics are given, and the prospects for the further development of an electron-ion source for industrial application on its basis are shown.
Article Details
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
References
Барченко, В.Т. Физика и технология плазменных эмиссионных систем / В.Т. Барченко. – СПб. : Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014. – 286 с.
Кузьмичев, А.И. Магнетронные распылительные системы / А.И. Кузьмичев – Киев : Аверс, 2008. – Кн. 1 : Введение в физику и технику магнетронного распыления. – 244 с.
Coating by Cathode Disintegration : pat. US 2,146,025 / Penning F.M. ; N.V. Philips, Gloeilampenfabrieken, Eindhoven, The Netherlands. – 1939.
Москалев, Б.И. Разряд с полым катодом / Б.И. Москалев. – М. : Энергия, 1969. – 184 с.
Крейндель, Ю.Е. Плазменные источники электронов / Ю.Е. Крейндель. – М. : Атомиздат, 1977. – 145 с.
Алямовский, И.В. Электронные пучки и электронные пушки / И.В. Алямовский. – М. : Советское Радио, 1966. – 454 с.
Груздев, В.А. О механизме возникновения электрического поля в плазме при эмиссии электронов / В.А. Груздев, В.Г. Залесский // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С, Фундаментальные науки. – 2014. – № 4. – С. 103–108.
Груздев, В.А. Формирование эмиссионного тока в плазменных эмиттерах электронов. / В.А. Груздев, В.Г. Залесский // Прикладная физика. – 2009. – № 5. – C. 82–90.
Gruzdev, V.A. Electron-optical characteristics of the beam generated by the electron plasma sources / V.A Gruzdev, V.G. Zalesski // Electrotechnica and electronica. – Bulgaria, 2014 – V. 49, № 5–6. – Р. 264–268.
Gruzdev V.A. Emission current formation in plasma electron emitters / V.A. Gruzdev, V.G. Zaleski // Plasma Physics Reports. – 2010. – № 36. – P. 1191–1198.
Залесский, В.Г. Эмиссионные и электронно-оптические системы плазменных источников электронов : дис. … д-ра физ.-мат. наук : 01.04.04 / В.Г. Залесский. – Минск, 2015. – 316 л.
Universal plasma electron source / V.A. Gruzdev [et al.]. // Vacuum. – 2005. – №77. – P. 399–405.
Zaleski V.G. Peculiarities of plasma electron sources operation at high pressures / V.G. Zaleski, D.A. Antonovich // Journal of Physics D: Applied Physics. – 2007. – № 40. – P. 7771–7777.