ПЛАЗМЕННЫЕ ЭМИССИОННЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

Просмотров аннотации: 64
Загрузок PDF: 23
pdf (rus)
Опубликован: мар 30, 2017
Ключевые слова:
плазменный эмиттер, электродная структура, пучок заряженных частиц plasma emitter, electrode structure, charged particle beam
Выпуск
№ 4 (2017)
Раздел
Физика

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Д. А. АНТОНОВИЧ
Полоцкий государственный университет
В. А. ГРУЗДЕВ
Полоцкий государственный университет
П. Н. СОЛДАТЕНКО
Полоцкий государственный университет
В. Г. ЗАЛЕССКИЙ
Физико-технический институт НАН Республики Беларусь, Минск

Аннотация

Продолжение работы, опубликованной в предыдущем номере. Представлена конструкция плазменного источника электронов со скрещенными E×H полями, способного формировать низкоэнергетичные электронные и ионные пучки для реализации плазмохимических процессов и технологий нанесения пленок и покрытий различного назначения методами попеременного или одновременного теплофизического электронного и модифицирующего ионного воздействия. Предложен ряд эскизов конструкций структур плазменных источников, перспективных к использованию для реализации комбинированного воздействия электронно-ионными пучками.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
АНТОНОВИЧ, Д. А., ГРУЗДЕВ, В. А., СОЛДАТЕНКО, П. Н., & ЗАЛЕССКИЙ, В. Г. (2017). ПЛАЗМЕННЫЕ ЭМИССИОННЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), 45-51. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/3485
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Биографии авторов

Д. А. АНТОНОВИЧ, Полоцкий государственный университет

канд. техн. наук, доц.

В. А. ГРУЗДЕВ, Полоцкий государственный университет

д-р техн. наук, проф.

В. Г. ЗАЛЕССКИЙ, Физико-технический институт НАН Республики Беларусь, Минск

д-р физ.-мат. наук, доц.

Библиографические ссылки

Плазменные эмиссионные системы для электронно-лучевых технологий. Часть 1 / В.Г. Залесский [и др.] // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С, Фундаментальные науки. – 2016. – № 12. – С. 37–44.

Антонович, Д.А. Электронно-ионный источник для реализации комбинированного воздействия на поверхность / Д.А. Антонович, В.А. Груздев, В.Г. Залесский // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С, Фундаментальные науки. – 2014. – № 4. – С. 113–118.

Антонович, Д.А. Применение низкоэнергетичных пучков заряженных частиц для реализации комбинированного воздействия на материалы / Д.А. Антонович, В.Г. Залесский, П.Н. Солдатенко // Перспективные материалы и технологии : сб. материалов междунар. симп. – Витебск, 2015. – С. 216–218.

Плазменные эмиссионные системы с ненакаливаемыми катодами для ионно-плазменных технологий / В.Т. Барченко [и др.] ; под общ. ред. В.Т. Барченко // СПб. : Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2011. – 220 с.

Семенов, А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение / А.П. Семенов. – Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1999. – 207 с.

Исследование влияния ионно-электронной эмиссии на характеристики электронного источника с плазменным катодом / С.В. Григорьев [и др.] // Плазменная эмиссионная электроника : тр. II Междунар. семинара, Улан-Уде, 23-30 июня 2009 г. / БНЦ СО РАН. – Улан-Уде, 2009. – С. 37–44.

Гаврилов, Н.В. Формирование пучка ионов, извлекаемых из плазмы тлеющего разряда / Н.В. Гаврилов, Д.Р. Емлин // ЖТФ. – 2000. – Т. 70, № 5. – С. 74–81.

Никулин, С.П. Влияние ионной эмиссии на характеристики тлеющего разряда с полым катодом / С.П. Никулин // ЖТФ. – 2000. – Т. 70, № 10. – С. 122–124.

Кузьмичёв, А. И. Магнетронные распылительные системы / А. И. Кузьмичёв. – Киев : Аверс, 2008. – Кн. 1 : Введение в физику и технику магнетронного распыления. – 244 с.

Рекомендуемые статьи автора (авторов)